Rukun itikaf terdiri dari: Pertama niat itikaf, baik itikaf sunnah atau itikaf nadzar. Jika seorang muslim bernadzar akan melakukan itikaf, maka baginya wajib melaksanakan nadzar tersebut dan niatnya adalah niat itikaf untuk menunaikan nadzarnya.
Kedua yakni berdiam diri dalam masjid, sebentar atau lama sesuai dengan keinginan orang yang beritikaf atau mutakif. Itikaf di masjid bisa dilakukan pada malam hari ataupun pada siang hari.
Syarat itikaf yakni seorang muslim, bagi non muslim tidak sah melakukan itikaf. Syarat kedua yakni berakal, orang yang tidak berakal tidak sah melaksanakan itikaf. Ketiga yaitu suci dari hadats besar.
Itikaf di masjid menjadi batal disebabkan beberapa hal. Pertama yaitu bercampur dengan istri, berdasarkan firman Allah SWT“…Dan janganlah kamu campuri mereka (istrimu) itu, sedang kamu beri’tikaf di masjid, itulah ketuntuan Allah, maka janganlah kamu mendekatinya. Demikianlah Allah menerangkan ayat-ayat-Nya kepada manusia agar mereka bertakwa”. (QS. al-Baqarah, 2:187).